セミナー・イベント：【オンデマンド配信】装置動画で学ぶリソグラフィ工程 ～スピンコート・露光・現像を中心に～

種類

セミナー・イベント告知

分野

人材育成・雇用、経営改善・経営強化

地域

東京都

実施機関

地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター

実施機関からのお知らせ

半導体・MEMSセンサや、光回折格⼦、マイクロ流路チップなどにみられる微細構造の製造⼯程では、紫外線フォトリソグラフィや、電⼦線リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィといったナノ～マイクロメートルスケールのパターニング技術が利⽤されています。本オンデマンド配信では、実験室レベルでのリソグラフィ⼯程を当センターの設備で実際に⾏った様⼦の動画を交えながら、⼊⾨知識の解説を⾏います。また、ガラス基板に成膜された⾦属薄膜をウェットエッチングして作る光学回折格⼦の試作⼯程を紹介し、理解を深めていただきます。これから微細加⼯やリソグラフィ技術の知識を深めたいと考えている⽅のご参加をお待ちしております。

配信期間：2025年7月22日（火曜日）から2025年7月28日（月曜日）まで
開催方法：オンライン
費用：1,000円
定員：20名

申込期限：2025年7月8日（火曜日）23時59分

申込方法ほか詳細情報は、「詳細情報を見る」からご確認下さい。

詳細情報を見る

• 【オンデマンド配信】装置動画で学ぶリソグラフィ工程 ～スピンコート・露光・現像を中心に～

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